Fourniture d'un Microscope 3D
CEA/Grenoble
Awarded to KEYENCE FRANCE SAS.
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Amounts and figures
Description
Au sein de l’institut LETI du CEA Grenoble, le Département Optique et PhoTonique (DOPT) est chargé des recherches, des études, du développement et de la réalisation de composants prototypes dans les domaines d’applications comme les capteurs d’images infrarouges et visibles, les technologies optiques et éclairage, les technologies de visualisation ainsi que la photonique sur silicium. Dans ces développements, la microscopie est une technique indispensable en vue de la caractérisation rapide des étapes technologiques des dispositifs. Le microscope 3D qui fait l’objet de ce cahier des charges doit permettre d’investiguer de multiples applications et dispositifs différents. La liste des types d’études est résumée dans le choix des échantillons test ainsi que dans les spécifications indispensables. Ce document décrit les spécifications relatives à l’achat par le Laboratoire LAIP du Département DOPT, d’un microscope 3D pour l’observation et mesures sans contact de structure de très petites dimensions.
Award criteria
| Type | Criterion | Weight |
|---|---|---|
| Price | Prix de l'équipement | 55% |
| Quality | Performance de la mesure dépots Ø3 et 10μm h3 à 10μm. | 15% |
| Quality | Performance de la mesure 1/2 sphères Ø3 et 10μm h3 à 10μm. | 15% |
| Quality | Performance de l'observation XY 300mm motifs Ø2μm | 10% |
| Quality | Performance de la mesure couche mince | 5% |
Awards
| Lot | Awarded to | Amount | Bids received | Date |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | KEYENCE FRANCE SAS | €1 | 3 | 14 October 2026 |
Official publications
| Medium | Reference | Date |
|---|---|---|
| TED | 780725-2026 | 10 November 2026 |
| OJS | 218/2026 | 10 November 2026 |
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