Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule (RWTH) Aachen
Referenz: DE 121689807
14
Zuschläge
1.568.604 €
Vergebener Gesamtwert
Kontakt
- drittmittel_wirtschaftlich@zhv.rwth-aachen.de
- Telefon
- +49 241 8092565
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- »Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)
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