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Studie zur Verwendung von laborbasierten EUV-Strahlungsquellen zur Untersuchung von Degradations- und Kontaminationsprozessen mittels in-situ Messverfahren - Phase 2 - PR1171190-2310-I

Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau

Veröffentlicht
9 August 2026
Erfüllungsort
Aachen, DEA2D
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
38d901273e7446d7ba3a4c7d43d71a1b
Referenz
a69f6dca-69ee-4b7d-86f3-dbd6bd78c506
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Studie zur Verwendung von laborbasierten EUV-Strahlungsquellen zur Untersuchung von Degradations- und Kontaminationsprozessen mittels in-situ Messverfahren - Phase 2

Zuschlagskriterien

Zuschläge

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Die Vergabestelle ist Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau (Deutschland).
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