WDH - Maskless Aligner
Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Veröffentlicht
- 18 Juni 2024
- Geschätzter Auftragswert
- 457.300 €
- Erfüllungsort
- Jena, DEG03
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 52414573cedf450bbbf14809f4fd257d
- Referenz
- aaa004ff-047e-4efd-9eb7-16a7d89c2d13
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
Zuschlagskriterien
- Preis
- Qualität
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH | 434.210 € | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 52414573cedf450bbbf14809f4fd257d · 18 Juni 2024
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 457.300 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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