ALD-Anlage
Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Veröffentlicht
- 22 September 2026
- Geschätzter Auftragswert
- 461.344 €
- Erfüllungsort
- Jena, DEG03
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 9024fc158a5d4cf3aac21ad94598a71d
- Referenz
- 57f11d62-9298-47b4-ba2c-1f6ddc1f276c
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Zuschlagskriterien
- Qualität — technische Spezifikationen
- Preis — Preis
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH | 456.249 € | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 9024fc158a5d4cf3aac21ad94598a71d · 22 September 2026
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 461.344 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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