Ionenstrahlätzanlage
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Zuschlag an Scia Systems GmbH für 1.191.183 €.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | technische Spezifikationen | — |
| Preis | Preis | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Scia Systems GmbH | 1.191.183 € | 1 | 16 September 2025 |
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 1.189.000 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Deutschland).
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