Ionenstrahlätzanlage
Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Veröffentlicht
- 2 Oktober 2025
- Geschätzter Auftragswert
- 1.189.000 €
- Erfüllungsort
- Jena, DEG03
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 4a54e946f7d640bc84d8ac6be6379202
- Referenz
- 03480a7b-9308-498d-bd16-20c03a6cf69f
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Zuschlagskriterien
- Qualität — technische Spezifikationen
- Preis — Preis
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| Scia Systems GmbH | 1.191.183 € | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 4a54e946f7d640bc84d8ac6be6379202 · 2 Oktober 2025
Weitere Ausschreibungen von Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- ALD-Anlage
- Interferometrisch überwachtes Tm-Hochleistungslasersystem für IR-FRS
- ALD-Anlage
- ALD-Anlage
- Interferometrisch überwachtes Tm-Hochleistungslasersystem für IR-FRS
- Interferometrisch überwachtes Tm-Hochleistungslasersystem für IR-FRS
- Los 4 - NIR-Dauerstrichlaser
- Los 4 - NIR-Dauerstrichlaser
- Raman-Mikroskopie-System
- Raman-Mikroskopie-System
Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 1.189.000 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
Erstellen Sie ein kostenloses Konto und erhalten Sie täglich neue Ausschreibungen aus Deutschland, die zu Ihrem Unternehmen passen.