ALD-Anlage
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Geschlossen. Angebotsfrist: 25 August 2026. Geschätzter Auftragswert: 461.344 €.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | technische Spezifikationen | — |
| Preis | Preis | — |
Teilnahmebedingungen
- Als Nachweis zu den bestehenden Erfahrungen sind mind. 2 Referenzen, vorzugsweise aus dem Forschungsumfeld aus den vergangenen 3 Jahren zusammen mit dem…
Ausführungsbedingungen
- Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG
Änderungen
- Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 25 August 2026, 13:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 461.344 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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