WDH - Maskless Aligner
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Geschlossen. Angebotsfrist: 28 Mai 2024. Geschätzter Auftragswert: 457.300 €.
Interessieren Sie Ausschreibungen wie diese? Erhalten Sie die nächsten Ausschreibungen wie diese in Deutschland per E-Mail. Kostenlos, ohne Kreditkarte.
Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Preis | — |
| Qualität | Qualität | — |
Teilnahmebedingungen
- Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB
Ausführungsbedingungen
- Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG
Amtliche Veröffentlichungen
Weitere Ausschreibungen von Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Vergabestelle ansehen →- ALD-Anlage Veröffentlicht: 22 September 2026
- Neubau Biophotonik-Gebäude - VE 4710 VE-Wasseranlage Veröffentlicht: 4 September 2026
- Neubau Biophotonik-Gebäude - VE 4100 Sanitärtechnische Anlagen Veröffentlicht: 4 September 2026
- Neubau Biophotonik-Gebäude - VE 4200 Wärmeversorgungsanlagen und Kälteanlagen Veröffentlicht: 4 September 2026
- Neubau Biophotonik-Gebäude - VE 4732 Reinstgasversorgung Veröffentlicht: 3 September 2026
- Neubau Biophotonik-Gebäude - VE4300 Raumlufttechnik Veröffentlicht: 3 September 2026
- Neubau Biophotonik-Gebäude - VE 3220 Leichtmetallfassade Veröffentlicht: 2 September 2026
- Neubau Biophotonik-Gebäude - VE3410 Estrich inkl. Bodenbeschichtung Veröffentlicht: 26 August 2026
- ALD-Anlage Veröffentlicht: 26 August 2026
- Interferometrisch überwachtes Tm-Hochleistungslasersystem für IR-FRS Veröffentlicht: 14 August 2026
Vorherige und folgende von Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Ähnliche offene Ausschreibungen
- Hochleistungs-Erbium-Faser-Laser - PR1261401-2660-W
- SQUID-Magnetometer mit geschlossenem He-Kreislauf
- V363_2025 – HiPOLE – Oberflächenanalyseplattform
- Drahtbondautomat bzw. Drahtbondhalbautomat, - Ausführung als ein Tischgerät -
- Spektral aufgelöster Zeilendetektor im Infrarot-Bereich von 1050-2200 nm
- Femtosekunden-Lasersystem (6 Lose)
Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 28 Mai 2024, 13:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 457.300 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal in Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
Wie erfahre ich von ähnlichen Ausschreibungen, sobald sie erscheinen?
Erstellen Sie ein Konto auf el-vinculo.com: Sie erhalten einen Gratismonat und wir richten die Filter Ihres Unternehmens ein — Auftragsart, CPV-Codes, Auftragswert und Gebiet —, damit Sie als Erster erfahren, wenn neue Ausschreibungen wie diese in Deutschland erscheinen. Wir benachrichtigen Sie per E-Mail, sobald eine zu Ihrem Profil passende veröffentlicht wird, mit der gesamten Frist zur Vorbereitung des Angebots.
Ausschreibungen nach Bundesland
Erstellen Sie ein kostenloses Konto und erhalten Sie täglich neue Ausschreibungen in Deutschland, die zu Ihrem Unternehmen passen.