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Vapour-HF-Ätzsystem

Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena

Veröffentlicht
11 März 2026
Erfüllungsort
DEG03
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
559e54fb4eea4747b7b470ac5fa83e00
Referenz
20eb8803-fd0b-4b81-aefb-c7b09b39a804
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena plant die Anschaffung eines Vapour-HF-Ätzsystems zur Freistellung höchstempfindlicher photonischer Kristalle, die an Siliziumfäden mit kleinster, aber wohldefinierter Federkonstante aufgehängt sind und nahezu 100 % Reflexion ermöglichen. Diese Elemente levitieren auf einem Laserstrahl; über eine interferometrische Positionsbestimmung und elektrooptische Aktuatoren wird eine rauscharme Leistungsregelung ermöglicht. Die Technologie dient der Entwicklung neuartiger optomechanischer Systeme u.A. mit zukünftigem Einsatz im Einstein Telescope (ET), einem europäischen Gravitationswellenobservatorium. Die technischen Leistungsparameter aus Anlage 2 sind mindestens zu erfüllen.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
memsstar Limited 500.000 €

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