Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Veröffentlicht

5 Juni 2026

Erfüllungsort

Frankfurt (Oder), DE403

Verfahren

Verhandlungsverfahren

Lose

1

Unterlagen

1

Bekanntmachungsnummer

093c22ad1db14e819aae3b13fac0624c

Referenz

b76898b3-544e-4d24-9d52-90cc3c4bdc21

Offizielle Quelle

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CPV-Codes

• 42990000Máquinas diversas para usos especiales
• 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos

Beschreibung

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Amtliche Veröffentlichungen

• OEV · 093c22ad1db14e819aae3b13fac0624c · 5 Juni 2026

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