Semi-automated probe system with accessories
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Zuschlag an ATV Systems GmbH.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
The tender concerns the procurement of an integrated system for optical and opto-electrical characterization at wafer and chip level in the visible (VIS) spectral range. The system shall consist of a 200 mm semi-automated probe station equipped with a temperature-controlled chuck, microscope, and manual manipulators for RF/DC probes as well as for optical fibers and fiber arrays. The system will be installed in a laboratory environment outside the cleanroom. The scope of supply includes delivery to the point of use (laboratory), installation, commissioning, and two days of user training. The system must be new (no refurbished chambers or parts) and comply fully with CE requirements and the applicable EU Machinery Directive (2006/42/EC as amended). The operating system shall be Microsoft Windows 11. Remote control via GPIB (IEEE-488.2) and LAN is required. A user manual must be provided, and safety instructions must be supplied in German. The system must include a minimum warranty period of 24 months for all parts. Power supply requirements are 230/400 VAC, 50 Hz, separate PE/N (TN-S network). Tool delivery shall be in accordance with INCOTERMS 2020 DDP or DAP to a defined place …
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Berücksichtigung des Preises durch die Wertungsmethode "Preis-Quotient-Methode" | — |
| Qualität | Technische/technologische Bewerttung lt. mit der Ausschreibung veröffentlichten Bewertungsmatrix | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | ATV Systems GmbH | — | 3 | 4 Mai 2026 |
Amtliche Veröffentlichungen
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