Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Zuschlag an SFI Solutions for Instruments GmbH.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | Technische/Technologische Bewertung | 70% |
| Preis | Berücksichtigung des Preises durch die Wertungsmethode "Preis-Quotient-Methode" | 30% |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | SFI Solutions for Instruments GmbH | — | 1 | 21 September 2026 |
Amtliche Veröffentlichungen
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