Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Zuschlag an ATV Systems GmbH.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training and integration support.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | The evaluation will consider, in particular: - technical performance and precision of the wafer positioning system - chuck and wafer handling concept - temperature control and temperature stability… | 40.001% |
| Preis | Berücksichtigung des Preises durch die Wertungsmethode "Preis-Quotient-Methode" | 35% |
| Qualität | Only technically compliant offers fulfilling all mandatory integration requirements specified in Section 2.7 will be evaluated under this criterion. The assessment will consider the quality and… | 15.002% |
| Qualität | The evaluation will consider, in particular: - earliest possible delivery date - installation and commissioning concept - expected duration of installation and commissioning - availability and scope… | 9.997% |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | ATV Systems GmbH | — | 1 | 30 Oktober 2026 |
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