Tabletop Lithografie Direktschreib-Systems mit sub-?m Auflösung
Technische Universität Hamburg
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Beschaffung eines präzisen Lithografie Direktschreib-Systems geeignet für Substraten mit unterschiedlichen Größen bestehend aus einem Laser-Modul mit <= 400 nm Auflösung, eine Direktschreiboption zum Schnellschreiben größerer Flächen, mit automatischer motorisierter Höheneinstellungsoptionen sowie einer Graustufenschreiboption. Tabletop Lithografie Direktschreib-Systems mit sub-?m Auflösung
Amtliche Veröffentlichungen
| Medium | Referenz | Datum |
|---|---|---|
| OEV | 22148354-1 | 31 Mai 2024 |
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