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»Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)

Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau

Veröffentlicht
21 August 2025
Erfüllungsort
Aachen, DEA2D
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
4bcc92a543b744a6b07a0a126249674a
Referenz
70d042e0-462c-4e42-9998-e1a6302aff9e
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)

Zuschlagskriterien

Zuschläge

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Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau (Deutschland).
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