Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten
Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau
- Veröffentlicht
- 21 Oktober 2025
- Erfüllungsort
- DEG0T
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- df7939648cfb46a98eb5842208bcfba7
- Referenz
- da0b9cec-a813-47c7-a81c-f93f486f98fa
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38511100Microscopios electrónicos de barrido
- 38512000Microscopios de iones y moleculares
Beschreibung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage…
Zuschlagskriterien
- Qualität — 50% Techn. Spezifikationen
- Preis — 50% Preis
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| FEI Deutschland GmbH | 1.155.000 € | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · df7939648cfb46a98eb5842208bcfba7 · 21 Oktober 2025
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Technische Universität Ilmenau (Deutschland).
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