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Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten

Technische Universität Ilmenau

Zuschlag an FEI Deutschland GmbH für 1.155.000 €.

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Beträge und Kennzahlen

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Lose
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Eingegangene Angebote

Beschreibung

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage…

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
Qualität50% Techn. Spezifikationen50%
Preis50% Preis50%

Zuschläge

LosZuschlag anBetragEingegangene AngeboteDatum
LOT-0000 FEI Deutschland GmbH 1.155.000 € 2 17 Oktober 2025

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV — 21 Oktober 2025
TED 300709-2025 —

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