Process Monitoring Tool
Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
- Veröffentlicht
- 20 Februar 2026
- Angebotsfrist
- 9 März 2026, 10:00
- Erfüllungsort
- DED21
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 52c6d03ea0aa482281e54f6692258878
- Referenz
- fb2c0264-dd95-4e19-bd02-d23d57adfd89
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 42990000Máquinas diversas para usos especiales
- 38500000Aparatos de control y prueba
Beschreibung
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
Zuschlagskriterien
- Qualität — Technische Ausführung/techninal specification
- Preis — Preis/price
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 52c6d03ea0aa482281e54f6692258878 · 20 Februar 2026
Weitere Ausschreibungen von Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
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- Rahmenvereinbarung Softwareentw.- und Inbetriebnahmeleistungen für ISAR, aISAR und ISAR Statistics
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 9 März 2026, 10:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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