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OV_LK_3x2 Zoll Metallorganische Gasphasenepitaxie-Anlage (MOVPE / MOCVD)

Forschungsverbund Berlin e.V.

Zuschlag an AIXTRON SE.

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Beträge und Kennzahlen

1
Lose
1
Eingegangene Angebote

Beschreibung

Lieferung "frei Verwendungsstelle", Installation und Inbetriebnahme einer 3x2 Zoll MOVPE / MOCVD Anlage zur Abscheidung von epitaktischen Beta-Ga2O3 Schichten. Es erfolgt eine technische Abnahme der Anlage.

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
Qualitätunterteilt in 2 Unterkriterien: Minimierung des Ressourcenverbrauchs, Gewichtung 50%, Erweiterbarkeit / Zukunftssicherheit, Gewichtung 50%.50%
Qualitätunterteilt in 3 Unterkriterien: Lieferzeit, Gewichtung 33%, Schichtdickenabweichung auf 4" Substraten, Gewichtung 33%, In-situ Monitoring System, Gewichtung 34%.—
PreisAls "Wertungspreis" gilt der Gesamtangebotspreis erhöht um Lebenszykluskosten (Stromverbrauchskosten über 15 Jahre).—

Zuschläge

LosZuschlag anBetragEingegangene AngeboteDatum
LOT-0000 AIXTRON SE — 1 19 März 2025

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV — 21 März 2025
TED 18564-2025 —

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