OV_LK_08-26-0886 Cz-Züchtungsanlage-Fluoride-2027
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Lieferung "frei Verwendungsstelle", Installation und Inbetriebnahme einer Cz-Züchtungsanlage für das Züchten von Fluorid-Einkristallen. Darüber hinaus: Bereitstellung der Dokumentation, Abnahme (Werks- und Endabnahme), Service im Störungsfall. Das System ermöglicht das Wachstum von Fluorid-Einkristallen aus der Schmelze mittels Ziehverfahren (z. B. Czochralski-Verfahren). Das System wird in einer Forschungsumgebung eingesetzt und muss häufigen Benutzerzugriff, einfache Wartung sowie eine hohe Prozessstabilität gewährleisten. Das System soll Kristalle mit einem maximalen Durchmesser von 100 mm (4 Zoll) und einem Gewicht von bis zu 5 kg herstellen können. Der maximale Innendurchmesser des Tiegels wird auf ca. 200 mm geschätzt. Der Kristallzüchtungsprozess findet in einer wassergekühlten Edelstahlkammer statt, deren Innenwand elektropoliert sein muss, um ein Hochvakuum zu erreichen. Argon und CF4 werden als Prozessgase verwendet. Das System muss über eine Bake-out-Funktion verfügen, d. h. die Kammer muss unter Erwärmung auf >50 °C auf ein Hochvakuum (<1×10-6 mbar) evakuiert werden können. Der Prozess wird bei einem Druck leicht über Atmosphärendruck (typischerweise 1,05-1,1 bar) in …
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | Als "Wertungspreis" gilt der Angebotspreis erhöht um Lebenszykluskosten (Stromverbrauchskosten über 15 Jahre). Ermittlung des "Wertungspreises" erfolgt DURCH DEN AUFTRAGGEBER anhand der… | 100% |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0000 | — | 2 | — |
Amtliche Veröffentlichungen
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