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maskenloses UV-Direktlithographie-System

Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena

Veröffentlicht
22 Mai 2026
Angebotsfrist
25 Juni 2026, 10:00
Erfüllungsort
DEG03
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Unterlagen
1
Bekanntmachungsnummer
008cdd4bfdaa464cb5edd6525e6fd291
Referenz
e09a1bea-a718-4524-ac68-f2bb8f03098c
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 25 Juni 2026, 10:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Friedrich-Schiller-Universität Jena (Deutschland).
Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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