Lieferung eines Atomic Layer Deposition system PEALD
Karlsruher Institut für Technologie
Zuschlag an Euris GmbH.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines GEMStar XT-DP, Thermal and Plasma enhanced Atomic Layer Deposition system PEALD with dual manifold zones up to 8 precursors including 2 precursor bottles + heater jackets mit Glovebox interface für das Institute of Photonics and Quantum Electronics (IPQ) am KIT - Campus Süd, Karlsruhe.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | Siehe Vergabeunterlagen. | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Euris GmbH | — | 1 | — |
Amtliche Veröffentlichungen
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