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Electron Beam Lithography system

Auftraggeber: Karlsruher Institut für Technologie

Veröffentlicht
26 Januar 2025
Erfüllungsort
Eggenstein-Leopoldshafen, DE123
Verfahren
Verhandlungsverfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
4bb962d4e79e4115a73d01ede71a4861
Referenz
b640244c-ad57-41bb-8713-b9e54fb99d54
Offizielle Quelle
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CPV-Codes

Beschreibung

Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines "Electron Beam Lithography system"; eines Elektonenstrahlschreibers. Die Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen gehört zu den Grundanforderungen vieler im neu geplanten KCOP Gebäudes des KIT vertretenen Arbeitsgruppen. Die permanente und reibungslose Verfügbarkeit einer leistungsfähigen Elektronenlithographie ist daher unabdingbar. Deshalb soll eine 100kV Elektronenlithographieanlage (EBL) für das Karlsruhe Center for Optics and Photonics (KCOP) am KIT - Campus Nord, Eggenstein-L.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
Raith B.V. 2.984.850 €

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
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