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Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems

Auftraggeber: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung

Veröffentlicht
3 Oktober 2025
Erfüllungsort
Leipzig, DED51
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
ec97d38fb2214454993d67786461145b
Referenz
844daecb-0e73-4c33-804b-a2ec0f9b8f3f
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächen-bearbeitung optischer Substrate mit 200 mm Durchmesser unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff, Stickstoff und ähnlich zum späteren Einsatz in industriel-len Anwendungen im Forschungsbereich "Ultra-Präzisionsoberflächen" des Leibniz-Instituts für Oberflächenmodifizierung e.V. (Wissenschafts¬park Permoserstr. 15, Leipzig) wird der Kauf eines neuen reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems inklusive der Liefe-rung, Installation und Einweisung in den Anlagenbetrieb ausgeschrieben

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
Scia Systems GmbH

Amtliche Veröffentlichungen

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (Deutschland).
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