Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung
Zuschlag an Scia Systems GmbH.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächen-bearbeitung optischer Substrate mit 200 mm Durchmesser unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff, Stickstoff und ähnlich zum späteren Einsatz in industriel-len Anwendungen im Forschungsbereich "Ultra-Präzisionsoberflächen" des Leibniz-Instituts für Oberflächenmodifizierung e.V. (Wissenschafts¬park Permoserstr. 15, Leipzig) wird der Kauf eines neuen reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems inklusive der Liefe-rung, Installation und Einweisung in den Anlagenbetrieb ausgeschrieben
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Qualität | siehe Anlage 5 | — |
| Preis | Preis | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0000 | Scia Systems GmbH | — | 1 | 2 Oktober 2025 |
Amtliche Veröffentlichungen
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