Ionenstrahlätzanlage
Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
- Veröffentlicht
- 7 August 2025
- Angebotsfrist
- 10 September 2025, 13:00
- Geschätzter Auftragswert
- 1.189.000 €
- Erfüllungsort
- Jena, DEG03
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Unterlagen
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- dec95ada10d04dd29e372a339dd0bf26
- Referenz
- 03480a7b-9308-498d-bd16-20c03a6cf69f
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · dec95ada10d04dd29e372a339dd0bf26 · 7 August 2025
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Häufig gestellte Fragen
- Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
- Die Angebotsfrist endet am 10 September 2025, 13:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 1.189.000 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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