Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten
Auftraggeber: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
- Veröffentlicht
- 1 September 2026
- Geschätzter Auftragswert
- 1'767'435 €
- Erfüllungsort
- Zürich ETH Hönggerberg, CH040
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Bekanntmachungsnummer
- 38049-02
- Referenz
- 13dcfc3d-4f30-4783-ab35-fef4567ee680
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Beschreibung
Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweite…
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| SURFACE systems + technology GmbH & Co KG | 1'767'435 € | 31 August 2026 |
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 1'767'435 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services (Schweiz).
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