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ICP3 Ionenätzanlage FIRST ETH Zürich

Auftraggeber: ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services

Veröffentlicht
5 Oktober 2024
Angebotsfrist
14 November 2024, 12:00
Erfüllungsort
Zürich ETH Hönggerberg, CH040
Verfahren
Offenes Verfahren
Bekanntmachungsnummer
4823-01
Referenz
bc0a3ccd-35a0-4853-9a03-2e217eab5db7
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma, bestehend aus einem Gasversorgungssystem für mindestens 9 Gase, mit Prozessdruck bis 100 mtorr und Gasflüssen bis 500 sccm, RF/ICP-Generatoren im kW-Bereich mit Autotuning, spektroskopischer Überwachung des Plasmas, automatischer Ladeschleuse für schnelle Beladung, für Probengrößen ab 4 Zoll Durchmesser, mit Probentemperaturregelung im Bereich von 10 bis 300 °C.

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 14 November 2024, 12:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services (Schweiz).
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