Suministro, instalación y puesta en marcha de un sistema de deposición de películas delgadas por evaporación térmica y sputtering magnetrón RF/DC para la Sala Limpia de Nanoelectrónica del CITIC-UGR

Importes y cifras

Qué se contrata

El suministro incluye un sistema de vacío con bomba turbomolecular de al menos 720 l/s para N₂ y bomba de prevacío seca de 35 m³/h, con presión base de 1×10⁻⁶ mbar. La cámara cúbica de acero inoxidable tiene dimensiones internas mínimas de 480×420×550 mm y un portasustratos calefactado hasta 400 °C y rotatorio de 0 a 20 rpm, apto para un sustrato de hasta 4" o varios menores.

El equipamiento de deposición comprende dos fuentes magnetrón para blancos circulares de 2" con potencia máxima admisible de 600 W en RF y 1000 W en DC, un generador RF de 13,56 MHz de al menos 600 W con red de adaptación, y un selector remoto RF/DC. Además, un evaporador térmico simple con fuente de 5 V / 400 A y mínimo 2 kVA, con obturador. El control de gases se realiza mediante dos MFC de 100 sccm para Ar y N₂ y uno de 20 sccm para O₂. La medición de espesor se hace por microbalanza de cuarzo con cabezal refrigerado y un juego de 10 cristales.

El conjunto se controla desde un armario con PLC, PC industrial y HMI táctil de unos 15,6", con hasta 100 recetas de 100 pasos cada una. La instalación y puesta en marcha corren a cargo del adjudicatario, que debe impartir formación de al menos dos días y ejecutar pruebas FAT y SAT. La garantía mínima es de 12 meses desde la aceptación SAT, y el servicio post-venta debe prestarse desde España, en castellano, con listado de consumibles y tarifas.

Consulta el pliego oficial antes de presentar una oferta.

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Criterios de adjudicación

Requisitos para presentarse

Solvencia económica

Cifra anual de negocio: a) Volumen anual de negocios, o bien volumen anual de negocios en el ámbito al que se refiera el contrato, referido al mejor ejercicio dentro de los tres últimos disponibles en función de las fechas…

Solvencia técnica

Trabajos realizados: a) Una relación de los principales suministros realizados de igual o similar naturaleza que los que constituyen el objeto del contrato en el curso de como máximo, los tres últimos años, en la que se…

Empresas adjudicatarias

Análisis de la adjudicación

Se adjudicó por el presupuesto base sin IVA, sin baja. Como referencia, la baja mediana es del 0,0 % en las 1.689 adjudicaciones de Rectorado de la Universidad de Granada y del 0,7 % en el grupo CPV 3897. Se recibieron 3 ofertas. Leybold Hispanica S.A. ha ganado 2 licitaciones de Rectorado de la Universidad de Granada. Se adjudicó 80 días después de su publicación.

Garantías exigidas

Publicaciones oficiales

• Servicio de recogida de residuos especiales: eléctricos y electrónicos lámparas y luminarias, pilas y acumuladores, consumibles informáticos, tóner y cartuchos de tinta provenientes de centros universitarios generados en los edificios de la Universidad de Granada, garantizando su tratamiento conforme a la normativa vigente.
  Publicada
  Publicada: 2026-10-19
• Servicio de mediación de seguros especializada para la gestión de la cartera de seguros de la Universidad de Granada
  Publicada
  Publicada: 2026-10-18
• Suministro de Licencias Google Workspace for Education Plus
  Publicada
  Publicada: 2026-10-08
• Concesión de Servicio para explotación de Servicio de Cafetería- Comedor en la Facultad de Ciencias del Deporte
  Evaluación
  Publicada: 2026-09-24
• FEDER-ESFRI_GICs-2026-04-CAMPUS_NEV-04- Suministro, instalación y configuración de equipamiento ACTRIS Aerosol In-situ. Cámara de expansión para medida de núcleos glaciógenos (Espectrómetro de núcleos de hielo).
  Evaluación
  Publicada: 2026-09-21

Anteriores y posteriores de Rectorado de la Universidad de Granada

• Mantenimiento software sustituciones PDI — 28/04/2026
• Suministro, instalación y puesta en funcionamiento del mobiliario científico y equipamiento fijo destinados al nuevo laboratorio de investigación sito en las dependencias del Departamento de Química Inorgánica de la Universidad de Granada — 21/04/2026
• Ampliación de la Instalación de Climatización de la Facultad de Bellas Artes (Fase 1). Campus Aynadamar, Edificio Alonso Cano — 20/04/2026
• Ludoteca inclusiva de verano corresponsables 2026 — 17/04/2026
• Reforma de la Instalación de Climatización y ACS del Colegio Mayor Isabel la Católica — 16/04/2026
• Suministro de licencias del software SPSS de análisis estadístico — 10/04/2026

Licitaciones similares y su resultado

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Preguntas frecuentes

¿Quién convoca esta licitación?

La convoca Rectorado de la Universidad de Granada.

¿Quién ganó esta licitación?

Se adjudicó a Leybold Hispanica S.A..

¿Cuál es el presupuesto de esta licitación?

Según los pliegos, el valor estimado del contrato es de 205.000 € y el presupuesto base de licitación asciende a 248.050 € (IVA incluido).

¿Qué tipo de contrato es?

Es un contrato de suministros, tramitado por procedimiento abierto.

¿Dónde se ejecuta el contrato?

El lugar de ejecución es España.

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