Single wafer plasma asher tool
Hankintayksikkö: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Julkaistu
- 12 helmikuuta 2025
- Menettely
- Avoin menettely
- Osat
- 1
- Ilmoituksen numero
- EF-20385
- Viite
- e3b75c26-414c-4ab1-8ba9-e0c90ea707cc
- Virallinen lähde
- Virallinen lähde
CPV-koodit
- 38000000Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja)
Kuvaus
The object of the tender process was Single wafer plasma asher tool (later also “Equipment”). The procurement object was a new 200 mm Single Wafer Plasma asher tool for the VTT Micronova cleanroom semiconductor front end. The procurement included a process chamber for Polymer Removal and PR ash. The single-wafer plasma asher tool was for silicon semiconductor front-end, the tool had to be compatible with industry-standard cleanroom requirements, including automated wafer handling, welded gas lines with VCR-gasket construction, particle filters, etc., and CE-compliant, with Emergency shutdown, capable processing of 200 mm including the following processes: Polymer removal PR ash (bulk strip, HDIS, Descums) The Single wafer asher tool will be used in silicon photonics devices, quantum devices, radiation detectors, and MEMS devices, which are the main product lines in the research fab. The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.,
Viralliset julkaisut
Muut hankintayksikön TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY hankinnat
- Tietoturva-asiantuntijapalvelut ja Attack Surface Management -palvelu
- Confocal Raman microscope for particle morphology and material identification
- Ultratyhjiössä toimiva ohutkalvodepositiojärjestelmä
- Kvanttinova-hankkeen kaupalliset neuvonanto- ja koordinointipalvelut
- Advanced oxide and metal etcher
- Plasma etch cluster tool
- Kelvin probe force microscopy (KPFM)
- Industrial-scale paper and board piloting services at Valmet’s Rautpohja pilot facility
- Carbonization and activation unit
- Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
Usein kysytyt kysymykset
- Kuka on tämän hankinnan hankintayksikkö?
- Hankintayksikkö on TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY (Suomi).
- Miten voin osallistua julkisiin hankintoihin Suomessa?
- Tarjoukset jätetään Suomessa virallisen julkisten hankintojen portaalin kautta. El Vínculo auttaa löytämään hankinnat ja analysoimaan niiden asiakirjat; tarjous jätetään aina virallisessa lähteessä.
Luo ilmainen tili ja vastaanota joka päivä uudet liiketoimintaasi vastaavat julkiset hankinnat Suomessa.