Plasma ALD batch deposition tool services
Hankintayksikkö: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Julkaistu
- 11 huhtikuuta 2024
- Ennakoitu arvo
- 1 000 000 €
- Toteutuspaikka
- FI
- Menettely
- Neuvottelumenettely
- Osat
- 1
- Ilmoituksen numero
- EF-8063
- Viite
- 38dc25ec-300b-491d-a26d-23a68df87b38
- Virallinen lähde
- Virallinen lähde
CPV-koodit
- 73000000Tutkimus- ja kehityspalvelut ja niihin liittyvät konsulttipalvelut
Kuvaus
ALD (atomic layer deposition) technology is crucial in cleanroom processing in MEMS. Picosun Oy has been VTT’s tenant for several years by renting space from VTT cleanroom for its equipment, for example to run a demo ALD tool. Picosun gives VTT the right to use ALD so that VTT’s own personnel can operate Picosun equipment. Processing of MEMS and other devices on silicon wafers is very sensitive and takes place in a controlled cleanroom environment, where the wafers must be handled and processed by qualified operators/researchers. Using an external fab for processing would mean shipping partly processed wafers after some process steps to another facility and then back to continue the processing with VTT’s own equipment. This poses risks to induce particles or other contamination during external processing or during transport,and to damage the wafers during transportation. It is not possible to have other ALD manufacturers to provide their demo equipment into VTT’s Micronova facility, because VTT’s cleanroom is full and VTT cannot rent it to out to new companies.,
Hankintapäätökset
| Voittaja | Summa | Päivämäärä |
|---|---|---|
| Picosun Oy | — | — |
Viralliset julkaisut
Muut hankintayksikön TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY hankinnat
- Tietoturva-asiantuntijapalvelut ja Attack Surface Management -palvelu
- Confocal Raman microscope for particle morphology and material identification
- Ultratyhjiössä toimiva ohutkalvodepositiojärjestelmä
- Kvanttinova-hankkeen kaupalliset neuvonanto- ja koordinointipalvelut
- Advanced oxide and metal etcher
- Plasma etch cluster tool
- Kelvin probe force microscopy (KPFM)
- Industrial-scale paper and board piloting services at Valmet’s Rautpohja pilot facility
- Carbonization and activation unit
- Plasma enhanced chemical vapour deposition tool
Usein kysytyt kysymykset
- Mikä on tämän hankinnan ennakoitu arvo?
- Hankintayksikön julkaisema ennakoitu arvo on 1 000 000 €.
- Kuka on tämän hankinnan hankintayksikkö?
- Hankintayksikkö on TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY (Suomi).
- Miten voin osallistua julkisiin hankintoihin Suomessa?
- Tarjoukset jätetään Suomessa virallisen julkisten hankintojen portaalin kautta. El Vínculo auttaa löytämään hankinnat ja analysoimaan niiden asiakirjat; tarjous jätetään aina virallisessa lähteessä.
Luo ilmainen tili ja vastaanota joka päivä uudet liiketoimintaasi vastaavat julkiset hankinnat Suomessa.