Conformal sputtering tool for versatile deposition of thin films with high aspect ratio, dielectrics and piezoelectrics, advanced metal alloys, and multilayer stacks
Hankintayksikkö: TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Julkaistu
- 6 marraskuuta 2025
- Menettely
- Neuvottelumenettely
- Osat
- 1
- Ilmoituksen numero
- EF-33397
- Viite
- 7e0f9254-6802-4208-a44f-bf77dddcd012
- Virallinen lähde
- Virallinen lähde
CPV-koodit
- 38500000Testaus- ja koelaitteet
Kuvaus
THE SUBJECT OF THE PROCUREMENT The subject of the procurement is a modular and versatile cluster sputtering tool for the deposition of conformal thin films with high aspect ratios. Beside the two conformal sputtering modules, the system is equipped with additional magnetron sputtering and co-sputtering sources for in situ multilayer thin-film deposition of metals, alloys, dielectrics as well as piezoelectrics. DIRECT AWARD, Article 40 2(2) of Finnish Procurement act (1397/2016) The procurement will be carried out as a direct award in accordance with 40 article Section 2(2) of the Finnish Public Procurement Act. Only a certain supplier can implement the procurement for a technical reason, and there are no reasonable alternatives or substitute solutions. The absence of competition is not due to an artificial narrowing of the terms and conditions of the procurement. TECHNICAL REASONS A high-performance 200-mm wafer sputtering cluster tool is required, which is able to deposit conformal thin films with high aspect ratio (8:1 and beyond) on wafer level with industrial quality standard. In addition, the system needs to be equipped to deposit highly textured, uniform and stress-f…
Hankintapäätökset
| Voittaja | Summa | Päivämäärä |
|---|---|---|
| Evatec Europe GmbH | — | — |
Viralliset julkaisut
Muut hankintayksikön TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY hankinnat
- Hitsaustyöt ja koelaiterakentaminen tutkimusympäristössä
- Tietoturva-asiantuntijapalvelut ja Attack Surface Management -palvelu
- Confocal Raman microscope for particle morphology and material identification
- Ultratyhjiössä toimiva ohutkalvodepositiojärjestelmä
- Kvanttinova-hankkeen kaupalliset neuvonanto- ja koordinointipalvelut
- Advanced oxide and metal etcher
- Plasma etch cluster tool
- Kelvin probe force microscopy (KPFM)
- Industrial-scale paper and board piloting services at Valmet’s Rautpohja pilot facility
- Carbonization and activation unit
Usein kysytyt kysymykset
- Kuka on tämän hankinnan hankintayksikkö?
- Hankintayksikkö on TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY (Suomi).
- Miten voin osallistua julkisiin hankintoihin Suomessa?
- Tarjoukset jätetään Suomessa virallisen julkisten hankintojen portaalin kautta. El Vínculo auttaa löytämään hankinnat ja analysoimaan niiden asiakirjat; tarjous jätetään aina virallisessa lähteessä.
Luo ilmainen tili ja vastaanota joka päivä uudet liiketoimintaasi vastaavat julkiset hankinnat Suomessa.