Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching)
INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
Awarded. Estimated value: 2,440,746 RON.
Interested in tenders like this? Get the next tenders like this one published in the European Union by email. Free, no card needed.
Amounts and figures
Description
Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching) cu plasmă cuplată inductiv, numit în continuare Sistem de gravură ICP-RIE, va fi utilizat pentru dezvoltarea și fabricarea de micro- și nanostructuri cu aplicabilitate în domenii precum micro- și nanoelectronică, optoelectronică, fotonică, precum și în aplicații de tip senzori. Sistemul trebuie să permită gravura anizotropă, selectivă și reproductibilă a unei game largi de materiale: polimeri (ex: PMMA, SU-8), oxizi metalici (ex: SiO2, Al2O3, HfO2, TiO2, ZnO, CuO), nitruri metalice (ex: AlN, TiN), metale (Cr, Ti) și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție (ex: MoS₂).
Award criteria
| Type | Criterion | Weight |
|---|---|---|
| Price | Punctajul se acorda astfel: a) Pentru cel mai scazut dintre preturi se acorda punctajul maxim alocat; b) Pentru celelalte preturi ofertate punctajul P(n) se calculeaza proportional, astfel: P(n) =… | — |
| Quality | Un sistem de gravură ICP-RIE de cercetare avansată este un echipament complex, a cărui performanță pe termen lung depinde în mod direct de o mentenanță riguroasă și de utilizarea de piese de schimb… | — |
| Quality | Se acordă un punctaj suplimentar ofertanților care, peste cerințele minime privind capabilitățile de procesare ale sistemului ICP-RIE, demonstrează performanțe superioare de uniformitate și… | — |
| Quality | Pentru a demonstra versatilitatea superioară a echipamentului pe termen lung și capacitatea sa de a fi utilizat pe viitor în direcții avansate și emergente de cercetare, peste cerințele minime… | — |
| Quality | Pentru obținerea unor performanțe superioare ale proceselor de gravură ICP-RIE, peste cerințele minime privind generarea plasmei, se punctează existența unei surse ICP cu putere extinsă, capabilă să… | — |
| Quality | Pentru obținerea unor performanțe superioare de control al procesului și sincronizare avansată a parametrilor critici, peste cerințele minime privind sistemul de control, se punctează capabilitățile… | — |
| Quality | Pentru obținerea unor performanțe superioare ale proceselor de gravură ICP-RIE, în special în aplicații care implică materiale sensibile, structuri nanometrice sau cerințe ridicate de uniformitate și… | — |
| Quality | Pentru menținerea unei reproductibilități superioare a proceselor, reducerea timpilor de nefuncționare și creșterea eficienței operaționale, peste cerințele minime privind controlul software al… | — |
| Quality | Pentru creșterea flexibilității operaționale, a reproductibilității proceselor și a reducerii timpilor de schimbare a probelor, peste cerințele minime privind suportul de substrat, se punctează… | — |
Awards
| Lot | Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|---|
| LOT-0000 | — | — |
Official publications
| Medium | Reference | Date |
|---|---|---|
| TED | 397891-2026 | 10 June 2026 |
| OJS | 110/2026 | 10 June 2026 |
Other tenders from INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
- Sistem de caracterizare electrică pentru diode organice electroluminescente (OLED) Published: 2 November 2026
- Pachet fotolitografie Published: 6 February 2026
- Cameră pentru depunerea de straturi subțiri semiconductoare din nitruri III–V, cu uniformitate foarte bună pe suprafețe de mari dimensiuni,… Published: 4 February 2026
- Spectrometru de Rezonanta Magnetica Nucleara (RMN) solid-state la 9.39 T (400 MHz pentru 1H) Published: 7 June 2024
Similar open tenders
- Hârtie specială pentru anul 2027
- Usługa eksploatacji i rozwoju Systemu Dozoru Elektronicznego
- Dostawa taśm do szybkościomierzy typu HASLER
- Sammanhållen tjänst för leverans av profilprodukter
- Παροχή υπηρεσιών κουνουποκτονιών- απεντομώσεων – μυοκτονιών καθώς και άλλων ειδικών εργασιών σε χώρους εμβέλε…
- DIS: Profilprodukter, giveaways samt hantverk och konstföremål
Frequently asked questions
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is 2,440,746 RON.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR (European Union).
- How can I bid for public tenders in the European Union?
- Bids are submitted through the official public procurement portal in the European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
How can I find out about similar tenders when they are published?
Create an account at el-vinculo.com and we give you a free month and set up your company's filters — contract type, CPV codes, value and territory — so you are the first to know when new tenders like this one come out in the European Union. We email you as soon as one matching your profile is published, with the whole deadline ahead to prepare the bid.
Create a free account and receive new public tenders published in the European Union that match your business, every day.