Cameră pentru depunerea de straturi subțiri semiconductoare din nitruri III–V, cu uniformitate foarte bună pe suprafețe de mari dimensiuni, utilizând tehnici de pulverizare în câmp magnetron (Cameră de depunere)
INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
Awarded to PHANOS TECHNOLOGY S.R.L. for 1,947,000 RON.
Interested in tenders like this? Get the next tenders like this one published in the European Union by email. Free, no card needed.
Amounts and figures
Description
Camera pentru depunerea de straturi subțiri semiconductoare din nitruri III–V, cu uniformitate foarte bună pe suprafețe de mari dimensiuni, utilizând tehnici de pulverizare în câmp magnetron, va fi destinată tranziției de la cercetări de laborator pe substraturi de mici dimensiuni către procesări pe substraturi de mari dimensiuni (diametru de 4 inch), conforme cu standardele activităților de microproducție.
Award criteria
| Type | Criterion | Weight |
|---|---|---|
| Price | Punctajul se acorda astfel: a) Pentru cel mai scazut dintre preturi se acorda punctajul maxim alocat; b) Pentru celelalte preturi ofertate punctajul P(n) se calculeaza proportional, astfel: P(n) =… | — |
| Quality | Pentru fiecare an de garanție suplimentar acordat peste perioada minimă obligatorie, se vor acorda 3 puncte. Notă: Se vor puncta maximum 3 ani de garanție suplimentară, punctajul maxim posibil… | — |
| Quality | Rețeta trebuie să asigure următoarele caracteristici de calitate pentru straturile de AlScN: a. Compoziție uniformă a scandiului în intervalul 0–40 at.%, cu variații locale de maxim ±2 at.%, pentru… | — |
| Quality | Rețeta trebuie să asigure următoarele caracteristici de calitate pentru straturile de AlN: a. Structură cristalină preferențial orientată de-a lungul axei c, cu lărgime la semiînălțime (FWHM) a… | — |
| Quality | Rețeta trebuie să asigure următoarele caracteristici de calitate pentru straturile de TiN: a. Rezistivitate în invervalul aproximativ 20–50 μΩ·cm pentru straturile de TiN; b. Rugozitate RMS a… | — |
| Quality | Echiparea suplimentară a camerei de depunere cu un generator RF de 300 W, dotat cu cutie de adaptare a impedanței și cablurile necesare operabilității. Notă: Integrarea unui generator RF suplimentar… | — |
| Quality | Echiparea camerei de depunere cu un sistem de răcire cu apă, circuit închis, având capacitatea de răcire de 5 kW, sistem de pompaj cu presiune de 0.4 MPa, debit minim de 25 L/min și domeniul de… | — |
| Quality | Livrarea camerei de depunere cu o țintă de AlSc cu puritatea 5N, diametrul de 6 inch și grosimea de 6 mm. Notă: Livrarea țintei de AlSc – un aliaj costisitor – este esențială atât pentru… | — |
| Quality | Livrarea camerei de depunere cu o țintă de Al cu puritatea 5N, diametrul de 6 inch și grosimea de 6 mm. Notă: Livrarea țintei de Al este esențială atât pentru operabilitatea imediată a camerei de… | — |
| Quality | Livrarea camerei de depunere cu o țintă de Ti cu puritatea 5N, diametrul de 6 inch și grosimea de 6 mm. Notă: Livrarea țintei de Ti este esențială atât pentru operabilitatea imediată a camerei de… | — |
Awards
| Lot | Awarded to | Amount | Bids received | Date |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0000 | PHANOS TECHNOLOGY S.R.L. | 1,947,000 RON | 1 | 27 January 2026 |
Official publications
| Medium | Reference | Date |
|---|---|---|
| TED | 82141-2026 | 4 February 2026 |
| OJS | 24/2026 | 4 February 2026 |
Other tenders from INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
- Sistem de caracterizare electrică pentru diode organice electroluminescente (OLED) Published: 2 November 2026
- Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching) Published: 10 June 2026
- Pachet fotolitografie Published: 6 February 2026
- Spectrometru de Rezonanta Magnetica Nucleara (RMN) solid-state la 9.39 T (400 MHz pentru 1H) Published: 7 June 2024
Similar open tenders
- Sisteme electronice de acces pasageri
- Sistem de climatizare si sitem de ventilatie cu montaj - Facultatea de Psihologie
- Pumpar och tillhörande tjänster
- 26.080.ΣΣ.ΗΜΥ_Παροχή υπηρεσιών συντήρησης ανελκυστήρων εγκατεστημένων σε διάφορους Κυβερνητικούς Οικισμούς
- Zlepšovanie energetickej hospodárnosti a obnova verejných budov – STVR Bratislava, ŠB Mlynská dolina
- ΠΡΟΜΗΘΕΙΑ ΚΑΙ ΕΓΚΑΤΑΣΤΑΣΗ ΑΝΤΛΙΩΝ ΘΕΡΜΟΤΗΤΑΣ
Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR (European Union).
- How can I bid for public tenders in the European Union?
- Bids are submitted through the official public procurement portal in the European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
How can I find out about similar tenders when they are published?
Create an account at el-vinculo.com and we give you a free month and set up your company's filters — contract type, CPV codes, value and territory — so you are the first to know when new tenders like this one come out in the European Union. We email you as soon as one matching your profile is published, with the whole deadline ahead to prepare the bid.
Create a free account and receive new public tenders published in the European Union that match your business, every day.