Fourniture d’un module de métrologie intégrée CMP 200 mm multi purpose
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 19 May 2025
- Place of performance
- FRK24
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00320808-2025
- Reference
- ea456a54-f41a-4c2b-96ee-0da5dff2211c
- Official source
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CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un système de mesure intégré pour son outil de polissage mécanique chimique EBARA FREX200M2, un outil de polissage chimico-mécanique. Cet équipement doit traiter des plaquettes de 200 mm et doit être entièrement intégré et connecté à l'outil CMP. Cet équipement sera utilisé comme système de mesure pour contrôler le processus CPM. Il doit être intégré et connecté au nouvel outil CEA-LETI de 200 mm. L'outil de métrologie doit pouvoir d'effectuer des mesures automatiques sur des substrats en silicium ou en verre. Il doit manipuler et mesurer des plaquettes de silicium de 200 mm, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyde de silicium, et mesurer des plaquettes avec ou sans motifs, des plaquettes avec ou sans patrons. Ce marché comporte : Un équipement de base Une option à chiffrage obligatoire relative a l’extension de garantie d’une année supplémentaire au-delà de la garantie légale d’un an. Une (des) option(s) facultatives : Option 1 : Formation maintenance niveau 1 Option 2 : Formation maintenance avancée
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Official publications
- TED · 00320808-2025 · 19 May 2025
- OJS · 95/2025 · 19 May 2025
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Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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