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Fourniture d'un implanteur ionique R&D en 100, 150 et 200mm

Buyer: CEA/Grenoble

Published
7 April 2025
Place of performance
Grenoble, FRK24
Procedure
Negotiated procedure
Lots
1
Documents
1
Notice number
00223173-2025
Reference
9a5f42c1-afae-4297-a357-a6c3ec718ea8
Official source
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CPV codes

Description

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un implanteur ionique. L'équipement doit avoir un haut niveau de flexibilité pour permettre le traitement d'une grande diversité de plaques (taille, nature des matériaux) et de conditions d’utilisation (espèces, énergie, dose, température pendant l'implantation). Le marché comporte : • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°1 : Proposition d’une nouvelle technique permettant de créer un plasma à partir d’une espèce solide conformément à l’article 3.1.3 du cahier des charges o Option n°2 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°3 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°4 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges

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