Fourniture d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 26 November 2024
- Estimated value
- €1
- Place of performance
- FRK24
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00721135-2024
- Reference
- b0ab48f6-9bdf-4bf6-b4fc-4dad2388a60b
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de polissage mécano-chimique avec modules de nettoyage et séchage intégrés. L’équipement vise des applications FEOL et MEOL sans contamination métallique croisée. L’équipement doit être capable d'effectuer un traitement parallèle de lots de plaquettes présentant différents niveaux de contamination. Les matériaux concernés par ce type de polissage sont le silicium, l’oxyde de silicium, le nitrure, le tungstène et d’autres matériaux métalliques. Cet équipement sera installé dans la salle blanche du CEA. Il est destiné à traiter des plaques 200mm. Il doit pouvoir intégrer un module de métrologie. Le présent marché comporte les options suivantes : - Option 1 : Formation maintenance niveau 1, page 36 du cahier des charges, - Option 2 : Formation maintenance avancée, page 36 du cahier des charges.
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| EBARA Corporation | €1 | — |
Official publications
- TED · 00721135-2024 · 26 November 2024
- OJS · 230/2024 · 26 November 2024
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Frequently asked questions
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is €1.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
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