Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 10 October 2025
- Estimated value
- €1
- Place of performance
- Grenoble, FRK24
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00665629-2025
- Reference
- c168855e-d4d5-462e-a846-334d73ae6883
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10 nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de nettoyage post gravure pour sa salle-blanche. L’équipement est destiné à traiter des wafers de 300mm en procédant à différents traitements chimiques pour applications BEOL et devra être totalement automatisé. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : Option 1 : Capacité à effectuer une purge N2 du FOUP - Options avec chiffrage facultatif : Option 2 : Ajout adapté de H2O2 pendant le procédé de retrait du HardMask Option 3 : Assistance mécanique aux procédés chimiques Option 4 : Formation à la Maintenance 1er niveau Option 5 : Formation à la Maintenance avancée Option 6 : Fourniture d’un échangeur de chaleur et d’un refroidisseur Option 7 : Fourniture d’un transformateur de puissance Option 8 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Award criteria
- Price — Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award…
Official publications
- TED · 00665629-2025 · 10 October 2025
- OJS · 195/2025 · 10 October 2025
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Frequently asked questions
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is €1.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
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