Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL
Buyer: CEA/Grenoble
- Published
- 19 August 2025
- Place of performance
- FRK24
- Procedure
- Negotiated procedure
- Lots
- 1
- Notice number
- 00539939-2025
- Reference
- 5485b0d9-6e61-4522-aff4-0eab39708919
- Official source
- Official source
CPV codes
- 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos
Description
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL. Il est destiné à réaliser des étapes de pre-clean (retrait CuOx), dépôts barrier TaN, liner Co et Cu seed pour les interconnexions cuivre avancées, telles que requises pour les nœuds technologiques FDSOI 7 nm et au-delà. L'équipement devra également avoir la capacité à réaliser des dépôts sélectif de capping Co pour limiter la diffusion du cuivre. Le présent marché comporte : • Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PVD pour le dépôt ALCu (Procédé 6). Le présent marché comporte également les options suivantes : • Option : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3) doté d’un plasma permettant de retirer le dépôt SAM, • Option : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement.
Award criteria
- Price — Prix de l’équipement : sur la base du prix de l’équipement de base, de la tranche optionnelle et des options avec chiffrage obligatoire mais hors options facultatives : 45%
- Quality — Capacité à réaliser l’empilement de dépôts décrit dans le Procédé 3 (dépôt barrier/liner, TaN, Co, Cu seed, barrier/seed) : 30 %
- Quality — Capacité à réaliser les autres procédés décrit dans les procédés 1, 4, 5 et 6 (dégazage, dépôt Co capping, dépôt SAM et dépôt AlCu) : 10 %
- Quality — Qualité matérielle et configuration hardware : 10%
- Quality — Capacité à réaliser le procédé de pre-clean (retrait CuOx) décrit dans le Procédé 2 : 5 %
Awards
| Awarded to | Amount | Date |
|---|---|---|
| Applied Materials | €1 | — |
Official publications
- TED · 00539939-2025 · 19 August 2025
- OJS · 157/2025 · 19 August 2025
Other tenders from CEA/Grenoble
- Prestation de gestion de projet DRT et de suivi de l'outil informatique EFFICY
- Fourniture d'un spectromètre de masse à mobilité ionique couplé à un système de nanochromatographie pour le CEA de Grenoble
- Prestations de développement d’une application Web de gestion des coupures pour les maintenances et les travaux dénommé « GESTCOUP »
- Rénovation des absorbants wedge pour la grande chambre anéchoïque du CEA GRENOBLE
- Maintenance de matériels informatiques hors garanties constructeurs
- Fourniture d'un Microscope 3D
- Fourniture d’un équipement de gazéification à lit fluidisé de biomasse et de déchets
- Fourniture d’un microscope électronique à balayage et ses détecteurs analytiques
- Fourniture d’un équipement de criblage automatique haut débit pour la synthèse et le mélange de poudres
- Conception et fabrication d'une boîte à vanne (CDB)
Frequently asked questions
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is CEA/Grenoble (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.