Cameră pentru depunerea de straturi subțiri semiconductoare din nitruri III–V, cu uniformitate foarte bună pe suprafețe de mari dimensiuni, utilizând tehnici de pulverizare în câmp magnetron (Cameră de depunere)
Buyer: INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
- Published
- 3 October 2025
- Submission deadline
- 10 November 2025, 15:00
- Estimated value
- 1,947,666 RON
- Place of performance
- RO322
- Procedure
- Open procedure
- Lots
- 1
- Documents
- 1
- Notice number
- 00649327-2025
- Reference
- d467f4ae-b560-49f0-af81-1d93ecb2959f
- Official source
- Official source
CPV codes
- 42000000Maquinaria industrial
Description
Camera pentru depunerea de straturi subțiri semiconductoare din nitruri III–V, cu uniformitate foarte bună pe suprafețe de mari dimensiuni, utilizând tehnici de pulverizare în câmp magnetron, va fi destinată tranziției de la cercetări de laborator pe substraturi de mici dimensiuni către procesări pe substraturi de mari dimensiuni (diametru de 4 inch), conforme cu standardele activităților de microproducție.
Award criteria
- Price — Punctajul se acorda astfel: a) Pentru cel mai scazut dintre preturi se acorda punctajul maxim alocat; b) Pentru celelalte preturi ofertate punctajul P(n) se calculeaza proportional, astfel: P(n) =…
- Quality — Pentru fiecare an de garanție suplimentar acordat peste perioada minimă obligatorie, se vor acorda 3 puncte. Notă: Se vor puncta maximum 3 ani de garanție suplimentară, punctajul maxim posibil…
- Quality — Rețeta trebuie să asigure următoarele caracteristici de calitate pentru straturile de AlScN: a. Compoziție uniformă a scandiului în intervalul 0–40 at.%, cu variații locale de maxim ±2 at.%, pentru…
- Quality — Rețeta trebuie să asigure următoarele caracteristici de calitate pentru straturile de AlN: a. Structură cristalină preferențial orientată de-a lungul axei c, cu lărgime la semiînălțime (FWHM) a…
- Quality — Rețeta trebuie să asigure următoarele caracteristici de calitate pentru straturile de TiN: a. Rezistivitate în invervalul aproximativ 20–50 μΩ·cm pentru straturile de TiN; b. Rugozitate RMS a…
- Quality — Echiparea suplimentară a camerei de depunere cu un generator RF de 300 W, dotat cu cutie de adaptare a impedanței și cablurile necesare operabilității. Notă: Integrarea unui generator RF suplimentar…
- Quality — Echiparea camerei de depunere cu un sistem de răcire cu apă, circuit închis, având capacitatea de răcire de 5 kW, sistem de pompaj cu presiune de 0.4 MPa, debit minim de 25 L/min și domeniul de…
- Quality — Livrarea camerei de depunere cu o țintă de AlSc cu puritatea 5N, diametrul de 6 inch și grosimea de 6 mm. Notă: Livrarea țintei de AlSc – un aliaj costisitor – este esențială atât pentru…
- Quality — Livrarea camerei de depunere cu o țintă de Al cu puritatea 5N, diametrul de 6 inch și grosimea de 6 mm. Notă: Livrarea țintei de Al este esențială atât pentru operabilitatea imediată a camerei de…
- Quality — Livrarea camerei de depunere cu o țintă de Ti cu puritatea 5N, diametrul de 6 inch și grosimea de 6 mm. Notă: Livrarea țintei de Ti este esențială atât pentru operabilitatea imediată a camerei de…
Official publications
- TED · 00649327-2025 · 3 October 2025
- OJS · 190/2025 · 3 October 2025
Other tenders from INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR
- Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching)
- Pachet fotolitografie
- Cameră pentru depunerea de straturi subțiri semiconductoare din nitruri III–V, cu uniformitate foarte bună pe suprafețe de mari dimensiuni,…
- Pachet fotolitografie
- Spectrometru de Rezonanta Magnetica Nucleara (RMN) solid-state la 9.39 T (400 MHz pentru 1H)
- Spectrometru de Rezonanta Magnetica Nucleara (RMN) solid-state la 9.39 T (400 MHz pentru 1H)
Frequently asked questions
- What is the deadline to bid for this tender?
- The submission deadline is 10 November 2025, 15:00. Check the official source, as dates can be modified.
- What is the estimated value of this tender?
- The estimated value published by the buyer is 1,947,666 RON.
- Who is the buyer of this tender?
- The contracting authority is INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE-DEZVOLTARE PENTRU FIZICA MATERIALELOR (European Union).
- How can I bid for public tenders in European Union?
- Bids are submitted through the official procurement portal of European Union. El Vínculo helps you find tenders and analyse their documents; submission always happens at the official source.
Get alerts for tenders like this
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.
Create a free account and receive new tenders from European Union matching your business, every day.