Zusatzkomponenten zur Einmessung von Justagemarken(Software) und zur Erzeugung mesoskaliger Strukturen sowie flexibel einsetzbarer Substrathalter für bestehende 2-Photonenlithografieanlage

Veröffentlicht

6 November 2025

Verfahren

Verhandlungsverfahren

Lose

1

Bekanntmachungsnummer

dea181e6-393f-42ff-a00a-8110d26d7700-1

Referenz

daae073a-568a-410d-864d-9a52b3ef824f

Offizielle Quelle

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Beschreibung

Gegenstand des Auftrags ist die Lieferung von Zusatzkomponenten zur Einmessung von Justagemarken (Software) und zur Erzeugung mesoskaliger Strukturen, sowie flexibel einsetzbarer Substrathalter, passend für die bestehende 2-Photonenlithografieanlage „Quantum X shape“ (Fa. Nanoscribe) gemäß den Anforderungen der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 der Vergabeunterlagen).

Amtliche Veröffentlichungen

• OEV · dea181e6-393f-42ff-a00a-8110d26d7700-1 · 6 November 2025

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