VVOTW_LK_08-23-1327 Forschungs- und Entwicklungsvertrag mit TU Dresden
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Beschreibung
Entwicklung von modellbasierten und datengetriebenen Regelungsalgorithmen für Verfahren der Halbleiter-Kristallzüchtung. Ausführungszeit: 01.12.2023 - 31.12.2025 VVOTW_LK_08-23-1327 Forschungs- und Entwicklungsvertrag mit TU Dresden
Amtliche Veröffentlichungen
| Medium | Referenz | Datum |
|---|---|---|
| OEV | 21324548-1 | 16 Dezember 2023 |
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