UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau
- Veröffentlicht
- 17 September 2024
- Geschätzter Auftragswert
- 442.000 €
- Erfüllungsort
- DEG0F
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- 3b10ea3c8f30442fa77e825eb44ffc29
- Referenz
- 41010780-0ebd-4b6b-9c94-0996779ccdf6
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 38000000Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Beschreibung
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.
Zuschlagskriterien
- Qualität — 50
- Preis — 50
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| EV Group E.Thallner GmbH | — | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · 3b10ea3c8f30442fa77e825eb44ffc29 · 17 September 2024
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 442.000 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Technische Universität Ilmenau (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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