UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Technische Universität Ilmenau
Geschlossen. Geschätzter Auftragswert: 442.000 €.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.
Teilnahmebedingungen
- Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt A. ImFormblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ werden für den genannten…
- Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zuüberprüfen: - Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit…
- Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IVAbschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“…
- (T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in Deutschland, nicht älter als 3 Jahre (T2) nächstgelegener Servicestandort - Absteigende…
- Der Bewerber erklärt mittels Eigenerklärung das Nichtvorliegen der Ausschlussgründe gem. § 123 GWBAbs.1 Nr. 6,7,8,9 i.V.m. §§ 108e, 299, 299a, 299b, 333, 334,…
- Der Bewerber erklärt mittels Eigenerklärung das Nichtvorliegen der Ausschlussgründe gem. § 123Abs.1 Nr. 4,5 GWB i.V.m. §§ 263, 264 StGB.
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
- Wie hoch ist der geschätzte Auftragswert dieser Ausschreibung?
- Der vom Auftraggeber veröffentlichte geschätzte Auftragswert beträgt 442.000 €.
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Technische Universität Ilmenau (Deutschland).
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