Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten
Technische Universität Ilmenau
Geschlossen.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung. Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft. Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen. Zusätzlich kann die Anlage…
Teilnahmebedingungen
- Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ -…
- Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IVAbschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ -…
- Bewertungskriterien - (W1) aktuelle wirtschaftliche Gesamtsituation (Jahresgesamtumsatz) des Bieters
- Bewertungskriterien - (W2) zum Umsatz mit PFIB-Systemen in Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren.
- Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt A. ImFormblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“
- (M1) Erklärung, dass sich das Unternehmen weder in Liquidation befindet, noch dass über das Vermögen des Unternehmens das Insolvenz- bzw. Vergleichsverfahren…
Amtliche Veröffentlichungen
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