Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers

Veröffentlicht

7 Januar 2026

Erfüllungsort

Frankfurt (Oder), DE403

Verfahren

Offenes Verfahren

Lose

1

Bekanntmachungsnummer

4f371b5d032c457fa58114c33bda0418

Referenz

8b740511-adad-44f6-ae91-7cd2a3f4e82e

Offizielle Quelle

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CPV-Codes

• 31712100Maquinaria y aparatos microelectrónicos

Beschreibung

Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers

Zuschlagskriterien

• Preis — Preis
• Qualität — Technische und technologische Bewertung

Zuschläge

Amtliche Veröffentlichungen

• OEV · 4f371b5d032c457fa58114c33bda0418 · 7 Januar 2026

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