Sputtercluster
Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.
- Veröffentlicht
- 30 Juli 2025
- Erfüllungsort
- Ulm, DE144
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Lose
- 1
- Bekanntmachungsnummer
- c8eb6f53bd324a5c86e8700bfe96a3ae
- Referenz
- 9d7443eb-e120-419a-a128-de9a5389fc58
- Offizielle Quelle
- Offizielle Quelle
CPV-Codes
- 31000000Máquinas, aparatos, equipo y productos consumibles eléctricos; iluminación
Beschreibung
Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung beinhaltet eine Kombi-Gerät mit Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage (ion beam etching IBE). Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Zuschlagskriterien
- Preis — 40% Rabatte auf Herstellerpreise
- Qualität — Zusammengesetzt aus: Qualität 40% Service 20%
Zuschläge
| Zuschlag an | Betrag | Datum |
|---|---|---|
| INTLVAC INC | 0 € | — |
Amtliche Veröffentlichungen
- OEV · c8eb6f53bd324a5c86e8700bfe96a3ae · 30 Juli 2025
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (Deutschland).
- Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
- Angebote werden über das offizielle Vergabeportal von Deutschland eingereicht. El Vínculo hilft Ihnen, Ausschreibungen zu finden und ihre Unterlagen zu analysieren; die Angebotsabgabe erfolgt immer bei der offiziellen Quelle.
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