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TübingenUlm, Stadtkreis
Geschlossen Deutschland LieferungenEU-finanziert

Sputtercluster

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Geschlossen. Angebotsfrist: 12 Mai 2025.

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Beträge und Kennzahlen

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Lose

Beschreibung

Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung beinhaltet eine Kombi-Gerät mit Magnetron-Sputterquellen und Ionenstrahlätzanlage (ion beam etching IBE). Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Zuschlagskriterien

ArtKriteriumGewichtung
Preis50 %50%
QualitätZusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%—

Teilnahmebedingungen

  • Der Nachweis wird durch einen aktuellen Registerauszug oder eine Kopie desselben (der Auszug soll zum Zeitpunkt des Fristendes nicht älter als drei Monate…
  • Der Katalog der zwingenden Ausschlussgründe ergibt sich aus dem GWB gemäß § 123 GWB ff.

Amtliche Veröffentlichungen

MediumReferenzDatum
OEV aa5324babb7e4564b0e67809ab970cc8 12 April 2025
TED 138606-2025 —

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 12 Mai 2025, 10:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (Deutschland).
Wie kann ich mich an öffentlichen Ausschreibungen in Deutschland beteiligen?
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