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Rückverfolgbares 3D-Längenmesssystem im Bereich mm - nm

Auftraggeber: IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)

Veröffentlicht
10 November 2023
Angebotsfrist
23 November 2023, 12:00
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Unterlagen
1
Bekanntmachungsnummer
612433e5-55ff-4b1c-9427-4a54582ab896-1
Referenz
1668c9eb-70b6-46ff-84e1-5d84229b291b
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

Beschreibung

Rückverfolgbares 3D-Längenmesssystem im Bereich mm - nm Zu beschaffen ist ein 3D-Messsystem, mit dessen Hilfe die Positioniergenauigkeiten der eigenen (Sub-)Nanometer-Positioniersysteme qualifiziert werden können. Um dieser Aufgabe gerecht zu werden, sind eine extreme Spreizung der abbildbaren Vergrößerung sowie Messgenauigkeiten im Nanometerbereich notwendig. Es ist möglich, eine Kombination unterschiedlicher Messverfahren in einem Gerät anzubieten, um die geforderte Vergrößerungsspreizung erreichen zu können. Die Auflistung der einzelnen Leistungsparameter ist in beigefügter Leistungsbeschreibung aufgeführt.

Zuschlagskriterien

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Häufig gestellte Fragen

Bis wann kann ein Angebot für diese Ausschreibung eingereicht werden?
Die Angebotsfrist endet am 23 November 2023, 12:00. Prüfen Sie die offizielle Quelle, da Termine geändert werden können.
Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH) (Deutschland).
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