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Reaktives-Ionenätzen-System

Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

Veröffentlicht
27 November 2024
Erfüllungsort
Stuttgartt, DE111
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
7e1a69c102ba4e2aaa5912ba2dab1ebd
Referenz
1b313e2c-e5c7-4244-a658-4f4d4097fa06
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
Oxford GmbH 0 €

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (Deutschland).
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