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Reactive ion etcher

Auftraggeber: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.

Veröffentlicht
25 März 2026
Erfüllungsort
Hamburg, DE600
Verfahren
Nichtoffenes Verfahren
Lose
1
Unterlagen
1
Bekanntmachungsnummer
ecc46548b97541178f557acabc5d6c64
Referenz
00d627e3-b2b6-4a01-858e-e676525f828f
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Herstellung, Vertrieb und Service von Plasmaätzanlagen (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation. Genaueres entnehmen Sie bitte aus dem Lastenheft.

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. (Deutschland).
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