Rasterelektronenmikroskop
Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.
Zuschlag an Hitachi High Technologies Europe GmbH.
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Beträge und Kennzahlen
Beschreibung
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Zur Kontrolle und Bewertung der Prozessergebnis-se auf Substraten mit bis zu 150 mm Durchmesser ist ein hochauflösendes Rasterelektronenmik-roskop vorgesehen. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Zuschlagskriterien
| Art | Kriterium | Gewichtung |
|---|---|---|
| Preis | 40 % | 40% |
| Qualität | Zusammengesetzt aus: Qualität 50% Service 10% | — |
Zuschläge
| Los | Zuschlag an | Betrag | Eingegangene Angebote | Datum |
|---|---|---|---|---|
| LOT-0001 | Hitachi High Technologies Europe GmbH | 0 € | 2 | 22 Mai 2025 |
Amtliche Veröffentlichungen
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Häufig gestellte Fragen
- Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
- Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (Deutschland).
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