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Rasterelektronenmikroskop

Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V.

Veröffentlicht
26 Juni 2025
Erfüllungsort
Ulm, DE144
Verfahren
Offenes Verfahren
Lose
1
Bekanntmachungsnummer
e943fd76daac4fdfb7d4f8948f927155
Referenz
9d7443eb-e120-419a-a128-de9a5389fc58
Offizielle Quelle
Offizielle Quelle

CPV-Codes

Beschreibung

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Zur Kontrolle und Bewertung der Prozessergebnis-se auf Substraten mit bis zu 150 mm Durchmesser ist ein hochauflösendes Rasterelektronenmik-roskop vorgesehen. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Zuschlagskriterien

Zuschläge

Zuschlag anBetragDatum
Hitachi High Technologies Europe GmbH 0 €

Amtliche Veröffentlichungen

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Häufig gestellte Fragen

Wer ist der Auftraggeber dieser Ausschreibung?
Die Vergabestelle ist Deutsches Zentrum für Luft und Raumfahrt e.V. (Deutschland).
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